بررسي آماري نانوزبري ساختارهاي سيليكاني حاصل از حكاكي ناهمگن

تاثير زمان حكاكي بر مورفولوژي و نانوزبري ساختارهاي سيليكان ضمن فرايند حكاكي ناهمگن با محلول بازي KOH مورد مطالعه قرار مي گيرد. ساختار حاصل ضمن فرايند حكاكي از طريق ميكروسكوپ نيروي اتمي (AFM)، ميكروسكوپ الكتروني روبشي گسيل ميداني (FESEM) و روشهاي آماري مبتني بر محاسبه سطح موثر بررسي مي شود. تصاوير FESEM ساختارهاي هرمي شكلي را نشان مي دهند كه حاكي از ناهمگن بودن فرايند حكاكي است. محاسبه سطح موثر ساختارهاي ايجاد شده مبتني بر تعيين زبري و طول همبستگي حاصل از داده هاي AFM نشان مي دهد كه با گذشت زمان حكاكي سطح موثر ساختار افزايش مي يابد. كميت هاي آماري اسكيونس و كورتوسيس انحراف تابع توزيع ساختارهاي ايجاد شده نسبت به توزيع نرمال را نشان داده كه مقدار اين انحراف ها ( ناهمگني) با افزايش زمان حكاكي بيشتر مي شوند. بررسي خطوط كانتوري ساختارهاي حاصل تاييدي بر افزايش اندازه ذرات و سطح ويزه موثر با افزايش زمان حكاكي است