شماره ركورد كنفرانس :
3914
عنوان مقاله :
مدلسازي ژيروسكوپ MEMS جهت اندازه گيري سرعت زاويه اي در راستاي محور عرضي
پديدآورندگان :
صابري مقدم ابوالحسن alef.sadmim@gmail.com كارشناس ارشد الكترونيك، دانشگاه صنعتي مالك اشتر؛ , عفيفي احمد ah-Afifi@iust.ac.ir دانشيار دانشكده برق و الكترونيك، دانشگاه صنعتي مالك اشتر؛
كليدواژه :
ژيروسكوپ , سرعت زاويه اي , فركانس تشديد , مد تحريك , مد حس كننده.
عنوان كنفرانس :
سومين كنفرانس ملي اويونيك
چكيده فارسي :
در اين مقاله يك ژيروسكوپ MEMS براي اندازهگيري سرعت زاويهاي حول محورهاي درون– صفحهاي X و Y طراحي و شبيهسازي شده است. ژيروسكوپهاي MEMS به دليل عدم احتياج به ياتاقان، مشكلات ناشي از فرسودگي و ساييدگي در آنها رخ نمي دهد. علاوه بر اين مصرف انرژي كمي دارند و بسيار كوچك و ارزان مي باشند. اين ژيروسكوپ داراي يك جرم حساس است و از تيرك هاي تاخورده براي تعليق آن استفاده شده است. با به كارگيري اين نوع تيرك ها ولتاژ كمتري براي راه اندازي ژيروسكوپ نياز خواهد بود. راه‌اندازي اين ژيروسكوپ به شيوه الكترواستاتيكي و از نوع تحريك- شانهاي است كه توانايي راه‌اندازي با جابه جايي بالا به ازاي يك ولتاژ پايين را دارا مي‌باشد. آشكارسازي سرعت زاويهاي نيز به صورت خازني و از نوع شكاف- متغير مي‌باشد. پاسخ فركانسي اين ژيروسكوپ نشان مي دهد كه اختلاف بين فركانس تشديد مدهاي تحريك و حس كننده فقط Hz24/5 است. علاوه بر اين تحليل گذرا پاسخ خروجي اين ژيروسكوپ نشان مي دهد كه دامنه جابه جايي محور حس‌كننده به ازاي ورودي سرعت زاويهاي 1 راديان بر ثانيه حدود 28 نانومتر است.
