طراحي و تحليل مشخصات مكانيكي و الكتريكي يك وركتور مايكروويو بر پايه فناوري MEMS با بازه تنظيم گسترده

هدف از اين تحقيق طراحي، تحليل و شبيهسازي وركتوري بر پايه فناوري - MEMS است كه در عين داشتن مشخصات مناسب در بازه فركانسي X و Ku ، بازه تغييرات ظرفيت خازني گستردهاي نيز داشته باشد. به منظور بهبود عملكرد مكانيكي وركتور سعي بر آن شد تا تحليل استاتيكي و ديناميكي رفتار مكانيكي ارائه شود. نهايتا وركتوري با بازه تغييرات ظرفيت خازني 7 / 158 % با ضريب كيفيتي بالاتر از 110 در باند X وKu طراحي و ارائه شده است. از مشكلات عمدهاي كه طراحان قطعات RF MEMS با آن درگيرند، تنوع حوزههاي رفتار اين قطعات و نياز به مطالعه ي همهي آنها است. براي بررسي رفتارهاي مكانيكي، الكترواستاتيكي، مكانيكي ديناميكي و الكترومغناطيسي وركتور ميكروالكترومكانيكي، نياز به ابزارها و نرم افزارهاي جداگانهاي است. در اين تحقيق براي بررسي رفتار مكانيكي وتحليل استاتيكي وركتور از نرم افزار COMSOL Multyphysics 3.5 استفاده شده كه قابليت تحليل حوزه هاي مكانيكي و الكترواستاتيكي به صورت همزمان بر اساس روش المان محدود ) FEM ( را دارا است. از نرم افزار Ansoft HFSS 11 براي تحليل الكترومغناطيسي استفاده شده است. همچنين براي تحليل حالت گذرا و پاسخ ديناميكي مكانيكي از روش تفاضل محدود در حوزه زمان ) - FDTD ( با استفاده از نرم افزار MATLAB استفاده شده است.