شماره ركورد كنفرانس :
3926
عنوان مقاله :
طراحي وساخت سيستم ليتوگرافي نوري تصويري با استفاده از ديود نوري توان بالا
پديدآورندگان :
جوكار علي Ajf20200@gmail.com دانشجوي ارشد دانشگاه شيرازر , دهقاني سجاد Sdehghani@shirazu.ac.ir استاد يار دانشگاه شيراز , شيخي محمد حسين Msheikhi@ shirazu.ac.ir دانشيار دانشگاه شيراز
كليدواژه :
ليتوگرافي , ليتوگرافي نوري تصويري , ماسك
عنوان كنفرانس :
بيست و چهارمين كنفرانس مهندسي برق ايران
چكيده فارسي :
با پيشرفت روزافزون تكنولوژي، نياز به ساخت و توسعه ابزارهاي الكترونيك با ابعاد كوچكتر، سرعت بيشتر، مشخصات مطلوب تر
و كارايي بهتر افزايش يافته است.. ليتوگرافي يكي از روش هاي متداول براي ساخت مدارهاي الكترونيك مي باشد كه با گسترش و ظهور ابزارهايي نظير ميكروسكوپ هاي الكتروني توسعه يافته و امروزه ساختارهايي با دقت و كيفيت بالا، با اين روش ساخته مي شوند . در اين مقاله ، به معرفي ليتوگرافي و ليتوگرافي نوري 1 مي پردازيم ،قسمتهاي مختلف سيستم ليتوگرافي نوري تصويري 2شبيه سازي شده وساخته شده معرفي ميگردند و نتايج آزمايشهاي انجام شده با اين سيستم ، ارائه مي گردد .
