شماره ركورد كنفرانس :
3926
عنوان مقاله :
تاثير مشخصات هندسي بر حساسيت سنسور شتاب سنج حرارتي MEMS
پديدآورندگان :
قادري شبنم Ghadery.shabnam512@gmail.com دانشجوي كارشناسي ارشد، دانشگاه اروميه , عباسپور ثاني ابراهيم e.abbaspour@urmia.ac.ir دانشيار، دانشكده فني، دانشگاه اروميه , طهماسبي پور محمد Tahmasebipour@ut.ac.ir استاديار، دانشكده علوم و فنون نوين، دانشگاه تهرانv
كليدواژه :
شتاب سنج حرارتي , سيستم هاي ميكروالكترومكانيك ) - MEMS ( , مدلسازي , روش المان محدود (FEM)
عنوان كنفرانس :
بيست و چهارمين كنفرانس مهندسي برق ايران
چكيده فارسي :
شتاب سنج هاي حرارتي - MEMS در وسايل نقليه، تجهيزات صنعتي ، صنايع نظامي و هوافضا كاربرد گسترده اي دارند. كاربردهاي پزشكي اينگونه شتاب سنج ها به دليل كمهزينه بودن و داشتن اندازه كوچك نيز افزايش يافته است. اساس كار اين نوع شتابسنجها همرفت آزاد حباب گرم تشكيل يافته از مولكولهاي هواي اطراف يك ميكروهيتر گرم شده توسط جريان الكتريكي در داخل محفظه سنسور ميباشد. اين نوع شتاب سنج ها داراي ساختار و پروسه ساخت سادهتر و ارزانتر، وزن كمتر و استحكام بالاتري مي باشند. حساسيت شتاب سنج از مهم ترين فاكتورهاي خروجي آن مي باشد. پارامترهاي هندسي ساختار شتاب سنج مذكور، تاثير بالايي در افزايش حساسيت آن دارد. لذا مطالعه و بررسي تاثير اين عوامل براي بالا بردن كيفيت اين سيستم و دستيابي به ساختاري با ابعاد هندسي بهينه از اهميت زيادي برخوردار است. بررسي رفتار اين سيستم به صورت تجربي كاري بسيارسخت، هزينه بر و زمان بر مي باشد. بنابراين مدلسازي رفتار آن با استفاده از روش المان محدود، مي تواند در كاهش هزينه هاي لازم براي انجام مطالعات آزمايشگاهي موثر باشد. لذا در اين پژوهش، به مطالعه تاثير ابعاد هندسي ساختار شتاب سنج حرارتي بر حساسيت خروجي سيستم به روش المان محدود پرداخته شده است.
