تاثير خواص مواد در عملكرد هيدروفن پيزوالكتريك MEMS

در اين مقاله ما به بررسي، تحليل رياضي و شبيه سازي تاثير خواص مواد بر ميزان حساسيت حسگر هيدروفن پيزوالكتريك MEMS پرداخته ايم و با تعريف ماده مناسب براي اين حسگر حساسيت آن را بهبود بخشيديم، ساختار بررسي شده در اين مقاله يك هيدروفن پيزوالكتريك با قابليت كار در فركانس هاي پايين مي باشد. هيدروفن هاي پيزوالكتريك امروزه كاربردهاي فراواني دارند، اين ادوات مهمترين بخش ساختار سونار را تشكيل مي دهند، سونارها در كشتي ها و وسايل حمل و نقل دريايي، ادوات جنگي مرتبط با دريا مانند زيردريايي ها، ناوها و ... كاربرد دارند. عملكرد هيدروفن هاي پيزوالكتريك بر اين اساس مي باشد كه مي توانند فشار صوتي دريافتي را به سيگنال الكتريكي تبديل نمايند. كه اين تبديل انرژي صوتي به الكتريكي توسط ماده پيزوالكتريك موجود در ساختار هيدروفن انجام مي پذيرد بنابراين مواد استفاده شده در ساختار هيدروفن از جمله ماده پيزوالكتريك، ماده استفاده شده بعنوان ديافراگم و ... تاثير بسزايي در عملكرد و حساسيت اين حسگر دارند، در اين مقاله ما با انتخاب ماده مناسب براي ساخت حسگر موفق به بهبود حساسيت اين حسگر ها شده ايم به نحوي كه حسگر طراحي شده داراي حساسيت -192.6 و فركانس رزونانس 87 كيلوهرتز ميباشد.