شماره ركورد كنفرانس :
3926
عنوان مقاله :
طراحي و شبيه سازي يك سلف متغير RF-MEMS با محرك الكتروگرمايي
پديدآورندگان :
زارعي روتاني الهه ezarei@eng.uk.ac.ir دانشجوي كارشناسي ارشد برق،دانشگاه شهيد باهنر،RF MEMS Bio-Nano Electronicsآزﻣﺎﻳﺸﮕﺎه , مهران مهديه m.mehran@uk.ac.ir عضو هيئت علمي بخش برق،دانشگاه شهيد باهنر،آزمايشگاه RF MEMS Bio-Nano Electronics , حكيمي احمد hakimi@uk.ac.ir عضو هيئت علمي بخش برق،دانشگاه شهيد باهنر،،RF MEMS Bio-Nano Electronicsآزﻣﺎﻳﺸﮕﺎه
كليدواژه :
MEMS , سلف تنظيم پذير , فريت منيزيم-مس-روي , محرك الكتروگرمايي
عنوان كنفرانس :
بيست و چهارمين كنفرانس مهندسي برق ايران
چكيده فارسي :
در اين مقاله يك سلف تنظيم پذير ميكروالكترومكانيكي با رنج تنظيم پذيري و ضريب كيفيت بالا در حوزه RF ارائه شده است.اين سلف تنظيم پذير داراي ساختار مارپيچي بوده و از فريت منزيم-مس-روي به عنوان هسته سلف استفاده شده است.استفاده از ماده اي با ضريب نفوذپذيري مغناطيسي بالا به عنوان هسته سلف،اندوكتانس آن را نسبت به هسته هوا به مراتب افزايش مي دهد.براي تنظيم پذيري اين سلف از قابليت تغيير ضريب نفوذپذيري فريت بكار گرفته شده در هسته،با دما استفاده مي شود.تنظيم دما با كمك يك هيتر و با كنترل ولتاژ آن انجام مي پذيرد.اين سلف متغير كه داراي ساختار مارپيچي دايره اي و شش ضلعي است.در بازه ولتاز51 /1 و 65/ 1 ولت،تغييرات اندوكتانسي در رنج 9/ 3 تا 78 /7 نانوهانري براي ساختار دايره اي و 56 /3 تا 58 /5 نانوهانري براي ساختار شش ضلعي را دارا است.براي اين سلف بدون هيچگونه تحريكي،حداكثر ضريب كيفيت 17 براي ساختار دايره اي در فركانس 2 GHZ و ضريب كيفيت 18 براي ساختار شش ضلعي در فركانس 3GHZ به دست آمده است.رنج تنظيم پذيري بدست آمده براي سلف متغير دايره اي ،99/4 درصد و سلف متغير شش ضلعي 56/74 مي باشد.در اين مقاله براي بررسي پارامترهاي مورد نظر از شبيه ساز COMSOL استفاده شده است.
