شماره ركورد كنفرانس :
3946
عنوان مقاله :
بررسي ميزان خطاي خلأسنج‌هاي مورد استفاده در سامانه هاي خلأ و تاثير آن بر تشكيل نانو ساختارها
عنوان به زبان ديگر :
Inspection of the Deviation of McLeod Calibrated Vacuum Gauges under Specified Time Duration
پديدآورندگان :
زواريان علي اصغر zavarian@jdsharif.ac.ir جهاد دانشگاهي دانشگاه شريف , حافظي فاطمه - جهاد دانشگاهي دانشگاه شريف
كليدواژه :
كاليبراسيون , نانو ساختار , خلأ مياني , استاندارد اوليه
عنوان كنفرانس :
اولين همايش ملي فناوريهاي نوين در شيمي و مهندسي شيمي
چكيده فارسي :
: روش سنجه مك لئود يكي از روش‌هاي كاليبراسيون اوليه خلأسنج‌ها در محدوده خلأ متوسط است. اين خلأسنج ها در تمامي سامانه-هاي خلأ مورد استفاده در ايجاد نانو ساختارها بخصوص در PECVD و كمتر در MOCVD مورد استفاده قرار مي گيرند. نانو ساختار ها حساس ترين ساختارها به فشار و دما در خلأ هستند. در اين پژوهش ميزان انحراف نمايش يك خلأسنج كاليبره شده با اين روش در فواصل زماني معين بررسي و مشكلات حاصل از تأخير در كاليبراسيون سالانه خلأسنج‌ها بيان مي‌گردد
