شماره ركورد كنفرانس :
4073
عنوان مقاله :
بررسي ساختار خازني براي آشكارسازي گاز هيدروژن با استفاده از نانو سنسور MOS
پديدآورندگان :
بهزادي پور قباد ghobadbehzadi@yahoo.com گروه فيزيك، واحد تهران شرق، دانشگاه آزاد اسلامي، تهران، ايران , فكري اول ليلا گروه فيزيك، واحد تهران شرق، دانشگاه آزاد اسلامي، تهران، ايران
كليدواژه :
لايه نازك , نانو سنسور , خازن , پاسخ دهي
عنوان كنفرانس :
اولين كنفرانس ملي مهندسي انرژي و نانو فناوري ايران
چكيده فارسي :
حسگر هيدروژني بر اساس ساختار فلز-اكسيد-نيمرسانا ساخته شده است. تاثير ضخامت لايه اكسيد بر روي زمان پاسخ دهي و زمان برگشت پذيري مورد بررسي قرار گرفته است. بالاترين پاسخ دهي و كمترين زمان پاسخ-دهي و برگشت پذيري حسگر به گاز هيدروژن براي نمونه هاي مختلف بررسي شده است. نتايج نشان مي دهند كه ساختار Ni/SiO2/Si يك حسگر با سرعت پاسخ دهي بالا براي آشكارسازي گاز هيدروژن مي باشد. مقايسه حسگرهاي خازني مختلف اطلاعات مفيدي را در مورد پارامترهاي تاثير گذار بر ساختار MOS به دست مي-دهد.
