شماره ركورد كنفرانس :
4124
عنوان مقاله :
ساخت و مشخصه يابي لايه‌هاي نازك شفاف رساناي اكسيد روي آلاييده شده با آلومينيوم ساخته شده به روش كندوپاش فركانس راديويي مگنترون
عنوان به زبان ديگر :
Fabrication and characterization of transparent conductive thin film of ZnO:Al (2wt%) thin films grown by RF magnetron sputtering
پديدآورندگان :
فراهاني الهام farahani_elham@ymail.com 1دانشكده فيزيك دانشگاه صنعتي شريف ، تهران , حقيقي مريم maryam.haghighi22@gmail.com 2 پژوهشكده علوم و فناوري نانو دانشگاه صنعتي شريف ، تهران , ايرجي زاد اعظم irajizad@gmail.com 1دانشكده فيزيك دانشگاه صنعتي شريف ، تهران 2 پژوهشكده علوم و فناوري نانو دانشگاه صنعتي شريف ، تهران , محمد پور راحله mohammadpour@sharif.edu 2 پژوهشكده علوم و فناوري نانو دانشگاه صنعتي شريف ، تهران
كليدواژه :
روش كندوپاش فركانس راديويي مگنترون , لايه هاي نازك رساناي شفاف , اكسيد روي آلاييده شده با آلومينيوم ,
عنوان كنفرانس :
كنفرانس فيزيك ايران 1395
چكيده فارسي :
در اين پژوهش، لايه هاي نازك شفاف رساناي اكسيد روي آلاييده شده با آلومينيوم به روش كندوپاش فركانس راديويي مگنترون ساخته و مشخصه يابي شدند. هدف از ساخت اين لايه ها، كاهش مقاومت ويژه الكتريكي و افزايش عبور اپتيكي در ناحيه مرئي جهت استفاده به عنوان الكترود شفاف در ادوات اپتوالكتريكي است. براي دستيابي به ساختار مناسب عوامل مختلف از جمله فشار و توان لايه نشاني بر ساختار لايه ها مورد بررسي قرار گرفت. نتايج نشان داد كه نمونه هاي لايه اي بر پايه شيشه شفافيتي درحدود 90 درصد در محدوده نور مرئي دارند. از داده هاي عبور اپتيكي نمونه هاي آلاييده مقدار گاف انرژي25 /3 الكترون-ولت بدست آمد كه1/ 0 الكترون-ولت بيشتر از نمونه هاي اكسيد روي خالص مي باشد. با بهينه كردن توان لايه نشاني (100 وات) و فشار گاز (2-10×4 تور) درنهايت لايه اي يكنواخت به ضخامت 6±371 نانومتر توسط ميكروسكوپ الكتروني گسيل ميداني(FESEM) اندازه گيري شد كه داراي مقاومت ويژه به مقدار Ω-cm 10^-3×4/53 مي باشد. لايه هاي ساخته شده قابليت استفاده به عنوان الكترود شفاف در سلول هاي خورشيدي و ديودهاي نوري را دارند.
