شماره ركورد كنفرانس :
4200
عنوان مقاله :
تاثير پارامترهاي طراحي بر افزايش حساسيت سنجش حسگر فشار پيزومقاومتي مبتني بر سيستم هاي ميكرو الكترومكانيكي
پديدآورندگان :
هاشمي نژاد سيد حسين كارشناس ارشد مهندسي برق گرايش الكترونيك ، مجتمع گاز پارس جنوبي ، عسلويه ، ايران , كرد رستمي زهير دكتراي برق گرايش نانوالكترونيك ، دانشكده مهندسي برق ، دانشگاه صنعتي شيراز ، شيراز ، ايران
كليدواژه :
حسگر فشار پيزو مقاومت , سيستم‌هاي ميكروالكترومكانيكي , انحراف ديافراگم , حساسيت سنجش , روش المان محدود
عنوان كنفرانس :
اولين همايش ملي مهندسي قدرت و نيروگاه هاي هسته اي
چكيده فارسي :
در اين مقاله، حسگر فشار پيزو مقاومت با تكنولوژي ميكروتراشكاري سطحي، طراحي و شبيه سازي شده و تاثير تغييرات پارامترهاي هندسي بر حساسيت سنجش بررسي و طراحي مناسب براي بهبود آن ارائه گرديده است. فرآيند حسگري، مبتني بر انحراف ديافراگم سيليكون نيتريد مي‌باشد. جهت دستيابي به نتايج دقيق، از روش المان محدود استفاده شده و بر اساس آن حساسيت خروجي سنسور فشار ارزيابي گرديده است. در ابتدا تاثير شكل هندسي ديافراگم روي خروجي حسگر در فشارهاي مختلف بررسي شده است. در ادامه اثر موقعيت مقاومت هاي پيزو و ابعاد آنها بر عملكرد سيستم محاسبه گرديده و بهترين شكل و موقعيت قرارگيري مقاومت هاي پيزو در ديافراگم نتيجه گيري شده است. در پايان نيز پارامترهاي يك حسگر فشار پيزومقاومت بهينه شده را بدست آورده ايم . نتايج اين شبيه‌سازي نشان مي دهد كه انتخاب صحيح شكل هندسي ديافراگم، ابعاد و موضع پيزو مقاومت ها، قادر به ارتقاي حساسيت سنسور و در عين حال كاهش مصرف توان آن مي‌باشد .
