بررسي خواص الكتريكي و اثر هال در لايه هاي نازك مس به صورت تابعي از دماي زيرلايه

اين مقاله به بررسي تاثير دماي زيرلايه در ساختار بلوري، خواص الكتريكي و اثر هال لايه هاي نازك مس مي پردازد و دستاوردهاي آن مي تواند در زمينه ساخت قطعات الكتريكي و الكترونيكي مورد توجه قرار بگيرد. لايه هاي نازك مس با ضخامت nm 90 به روش تبخير حرارتي در خلا بر روي زيرلايه هاي شيشه در دماهاي مختلف زيرلايه (300-100 °C) انباشت شدند. ساختار بلوري، مقاومت ويژه الكتريكي و اثر هال در نمونه ها به ترتيب به روش پراش پرتو-X (XRD)، ابزار چهار ميله نوك تيز و سيستم بررسي اثر هال مطالعه شدند. نتايج نشان داد كه افزايش دماي زيرلايه سبب كاهش مقاومت ويژه الكتريكي و تراكم حامل ها و افزايش تحرك حامل ها در نمونه ها مي شود و اين رفتار مي تواند به واسطه افزايش اندازه دانه ها و كاهش تعداد مرز دانه ها باشد.