طراحي و تحليل يك حسگر فشار خازني ميكرو الكترومكانيكي جديد با حساسيت و خطي بودن بالا

اين مقاله برروي طراحي يك حسگر فشار خازني ميكرو الكترومكانيكي جديد با ديافراگم پلهاي مربعي مورد استفاده در سيستم كنترل فشار تاير متمركز شده است. ساختار ديافراگم حسگر نقش كليدي در تعيين ميزان حساسيت حسگر و غير خطي بودن خروجي آن ايفا ميكند. لذا در ابتدا ساختار دو حسگر فشار خازني با ديافراگم مربعي ساده چهار طرف ثابت، با ضخامتهاي متفاوت شبيهسازي شده و ميزان حساسيت و غير خطي بودن آنها با هم مقايسه گرديده و در نهايت براي غلبه بر معايب، به معرفي حسگر فشار خازني با ديافراگم پلهاي مربعي پرداخته و يك حل عددي براي fF KPa تعيين دقيق ميزان حساسيت حسگر ارائه گرديده است. نتايج نشان مي دهد كه حساسيت حسگر از مقدار 2/37 در ديافراگم پلهاي افزايش و ميزان غير خطي بودن نيز از 1/117 fF KPa در ديافراگم ساده به مقدار 1/163 درصد در ديافراگم پلهاي كاهش يافته است. بنابراين در اين طرح ميزان 1/857 درصد در ديافراگم ساده به مقدار حساسيت و غير خطي بودن حسگر فشار تاير همزمان بهبود يافته است. به علاوه نتايج تئوري با نتايج شبيه سازي، بسياردر توافق نزديك ميباشند.