شماره ركورد كنفرانس :
4294
عنوان مقاله :
طراحي و ساخت مجموعه نابازتابنده دوگانه با پوشش محافظ كربن شبه الماسي بر بستره ي ZnSe
پديدآورندگان :
جان نثاري محمد صاايران , بهران وند امير دانشگاه صنعتي مالك اشتر , داودي دراره مهدي دانشگاه صنعتي مالك اشتر
كليدواژه :
نابازتابنده , دوگانه , كربن شبه الماسي , لايه نشاني تبخير فيزيكي , PECVD
عنوان كنفرانس :
بيست و سومين كنفرانس ملي اپتيك و فوتونيك ايران و نهمين كنفرانس ملي مهندسي و فناوري فتونيك ايران
چكيده فارسي :
در اين پژوهش، طراحي و ساخت مجموعهي 13 لايهي نابازتابندهي دوگانه با پوشش محافظ كربن شبه الماسي براي دو بازهي 5-3 و 12-8 ميكرومتر در زاويهي عمود گزارششده است. اين مجموعه بر بسترهي ZnSe طراحي و به كمك روشهاي پرتوي الكتروني و PECVD با استفاده از ضخامتسنج كريستالي و اپتيكي در محفظههايي با خلاء پايهي از مرتبهي (6-)^10 ميليبار و در دو مرحله لايهنشاني شده است. ويژگي ممتاز اين مجموعه، پايداري محيطي و استحكام مكانيكي بالا (به علت پوشش محافظ كربن شبه الماسي) به همراه متوسط بازتاب 5/ 2 درصد در بازههاي 5-3 و 12-8 ميكرومتر ميباشد. اين مجموعه آزمونهاي چسبندگي، سايش، رطوبت، مه نمكي و حلاليت را بهخوبي گذرانده است.