بررسي و مقايسه دو روش تداخل سنجي جابجايي فاز و تبديل فوريه در اندازه‌گيري مورفولوژي سطوح

در اين مقاله، دو روش تداخل‌سنجي براي اندازه‌گيري مورفولوژي سطح مورد بررسي قرار داده شده است. نمونه شبيه‌سازي در نظر گرفته‌شده براي اين مطالعه، يك توري پراش 600 خط در ميلي‌متر بود. طرح تداخلي براي اين نمونه شبيه‌سازي شد و روش‌هاي تبديل فوريه و جابجايي فاز براي استخراج پروفايل سطح نمونه از اين طرح تداخلي بكار گرفته شد. كدهاي مربوط به هركدام از روش‌ها در نرم‌افزار متلب نوشته شد و سپس با استفاده از پردازش تصوير عددي، پروفايل سطح به‌دست‌آمده از هر يك از روش‌ها مورد تحليل و بررسي قرار داده شد. نتايج نشان مي‌دهد كه در سيستم‌هاي ايده‌آل با نويز بسيار كم، مقدار خطاي اندازه‌گيري مورفولوژي در روش جابجايي فاز نسبت به روش تبديل فوريه كمتر است. همچنين نشان داده مي‌شود كه حساسيت روش تبديل فوريه به تغييرات نويز نسبت به روش جابجايي فاز كمتر است و اين روش براي سيستم‌هاي با نويز زياد نسبت به روش جابجايي فاز ارجحيت دارد.