بهبود ويژگي هاي سطحي الكترود شفاف ديودهاي نورگسيل آلي به دو روش بمباران يوني و بمباران با ميكروپودر آلومينا

يكي از چالشهاي مهم در ساخت قطعات نيمرساناي آلي، ساخت يك زير لايه ي مناسب است. در اين پژوهش آماده سازي يك الكترود شفاف به عنوان زيرلايه جهت ساخت يك ديود نورگسيل آلي مورد بررسي قرار گرفته است. به اين منظور، ابتدا يك لايه نازك از اكسيد قلع و اينديوم (ITO) را روي بستره­اي از شيشه انباشت نموديم و سپس با دو فرآيند بمباران يوني و بمباران توسط ميكروپودر آلومينا سطح آن را بهبود بخشيديم. طيف عبور الكترود در ناحيه مرئي به وسيله­ي دستگاه طيف سنج دوپرتويي اندازه گيري شد. همچنين مقاومت سطحي پوشش توسط دستگاه پروب چهارسر اندازه گيري شد. كيفيت سطح قطعه توسط تصاوير ميكروسكوپ AFM بررسي شد. بررسي­ها نشان داد كه انحراف معيار سطح و فاصله­ي قله-دره پس از انجام عمليات سطحي بهبود چشمگيري داشته است. پس از اين بررسي ها روي زيرلايه، با به كار بردن آنها در ساخت ديود و اندازه گيري منحني ولتاژ جريان، افزايش كارايي قطعات را به صورت تجربي نشان داده­ايم.