طراحي و ساخت فيلتر تداخلي تمام دي الكتريك نوارگذر باريك به كمك سيستم ضخامت سنج اپتيكي

در اين پژوهش طراحي و ساخت فيلتر تداخلي نوارگذر باريك مبتني بر روش فابري پرو با ناحيه­ ي­ انسدادي وسيع در طول موج 1071 نانومتر گزارش شده است. لايه­ نشاني در محفظه­ ي خلا با فشاري از مرتبه­ ي 6-10 ميلي بار و توسط تفنگ الكتروني صورت گرفت. ضخامت لايه­ ها به روش ضخامت­ سنجي اپتيكي پايش شد. به منظور ايجاد بخشي از ناحيه­ ي انسدادي بر روي سمت ديگر بستره نيز يك فيلتر تداخلي بلندگذر طراحي و لايه نشاني شد. ­طيف عبور پوشش­ها به وسيله­ ي يك طيف­ سنج دوپرتويي اندازه­ گيري شد. در پايان يك فيلتر نوارگذر با قله­ ي عبوري 95 درصد و پهناي نيم بيشينه­ ي 22 نانومتر ساخته شد. فيلتر نهايي بعد از لايه­ نشاني تمامي آزمون­هاي محيطي مورد نياز را طبق استانداردهاي مربوطه با موفقيت پشت سر گذاشت.