تشكيل ميكروساختارهاي منظم روي سطح شيشه در اثر تابش ليزر اگزايمر

Ordered Microstructure Formation on Glass Surface by Excimer Laser Irradiation

در اين مقاله تشكيل خودبخودي ميكروساختارهاي منظم روي سطح شيشه گزارش مي شود. نمونه هاي ديسك نازك شيشه اي توسط سيستم ليزر ArF با پهناي زماني ns 20 و با تعداد تپ و شار ليزري متفاوتي تابش داده شدند. تصاوير ميكروسكوپ الكتروني سطوح تابش داده شده نشان مي دهد كه ميكروساختارهايي با قطر m 5  در محل تابش لكه ليزري تشكيل مي شوند. همچنين، مشاهده مي شود كه شكل و چگالي ساختارها با تغيير پارامترهاي ليزري تغيير مي كند. نتايج ما همچنين نشان مي دهد كه ميكروساختارهاي قبه مانند متراكم مشخصه آستانه كندگي سطح شيشه براي تابش ArF ، ns 20 مي باشد.

This paper reports self-organized formation of well-established ordered microstructures on the glass surface. Thin disc glass samples are irradiated by 20 ns 193 nm ArF laser with different laser fluence and pulse number. The SEM images of the irradiated surfaces show that microstructures with the diameter of 5 m were formed at the laser spot site. Also, it is observed that the shape and density of the structures change at different laser parameters. Our results show that compact micro-hill structures are characteristic feature of the ablation threshold of the glass surface at 20 ns ArF laser irradiation.