شماره ركورد كنفرانس :
4341
عنوان مقاله :
اثر شكل حفره ها، واپيچش سطحي و دماي كار روي پاسخ حسگر گازي فيلم نازك نانومتخلخل اكسيد روي با حل معادله پخش- واكنش
عنوان به زبان ديگر :
Effect of pores shape, surface tortuosity and working temperature on sensitivity of ZnO nanoporous thin film by solving diffusion-reaction equation
پديدآورندگان :
آتشي امير سعيد amirsaeedatashi@yahoo.com گروه فيزيك دانشگاه گيلان، رشت؛ , مظلوم جمال j.mazloom@guilan.ac.ir گروه فيزيك دانشگاه گيلان، رشت؛
كليدواژه :
حسگر گازي , معادله پخش-واكنش , نانو حفره , تخلخل , واپيچش سطحي , پاسخ , 73 , 81 , 82
عنوان كنفرانس :
سي و سومين كنفرانس ملي فيزيك ايران 1396
چكيده فارسي :
پاسخ الكتريكي حسگر گازي فيلمهاي نازك نانو متخلخل اكسيد روي در حضور گاز هدف NO2 با استفاده از مدل پخش-واكنش بررسي شد. فشار جزيي گاز هدف در داخل حسگر با حل تحليلي معادله پخش-واكنش خطي محاسبه شده و پاسخ حسگر (حساسيت) بصورت تابعي از فشار جزيي گاز بدست آمد. اثر شكل نانوحفرهها (كروي يا استوانهاي)، واپيچش سطح فيلم نازك و دماي كار بر روي پارامتر حساسيت بررسي شد. نتايج نشان ميدهد كه وقتي واپيچش سطحي فيلم نازك كوچكتر باشد، با افزايش عمق تا 300 نانومتر در داخل اكسيد فشار جزيي و حساسيت حسگر كاهش كمتري پيدا ميكند. همچنين بيشينه حساسيت در بازه دمايي بين 600 تا 700 كلوين روي ميدهد
چكيده لاتين :
The electrical response of ZnO nanoporous thin film gas sensor in the expose of NO2 target gas was studied using the diffusion-reaction model. The partial pressure of target gas inside the thin film was calculated by solving linear diffusion-reaction equation and sensor response (sensitivity) obtained as a function of partial pressure. The influence of pores shape (spherical and cylindrical), tortuosity and working temperature on sensitivity was studied. The results showed that when metal oxide had a lower tortuosity, with increasing the depth up to 300 nm, the reduction of partial pressure and sensitivity was smaller. The maximum sensitivity of thin films occurred in the temperature range of 600-700 K.
