شماره ركورد كنفرانس
4341
عنوان مقاله
تهيه لايه نازك دي اكسيد قلع(SnO2) بر روي شيشه به روش كندوپاش
عنوان به زبان ديگر
characterization of Tin Oxide Thin Films Prepared by Magnetron Sputtering
پديدآورندگان
فرجي زهرا zahrafaraji87@gmail.com دانشجوي دانشگاه ازاد اسلامي واحد علوم و تحقيقات تهران؛ , مجتهدزاده لاريجاني مجيد mmojtahedfr@yahoo.com پژوهشگاه علوم و فنون هسته اي، سازمان انرزي اتمي ايران، تهران؛ , بلاش آبادي پروين paribalash@gmail.com پژوهشگاه علوم و فنون هسته اي، سازمان انرزي اتمي ايران، تهران؛
تعداد صفحه
4
سال انتشار
1396
عنوان كنفرانس
سي و سومين كنفرانس ملي فيزيك ايران 1396
زبان مدرك
فارسي
چكيده فارسي
براي توليد فيلمهاي نازك دي اكسيد قلع روشهاي مختلفي از جمله لايه نشاني بخار شيميايي ، تبخير حرارتي، كندوپاش ، افشاندن و ليزر پالسي مورد استفاده قرار مي گيرد كه در اين تحقيق لايههاي دي اكسيد قلع به روش كندوپاش و بر روي شيشه تهيه و مشخصهيابي شدهاند. آناليزهاي مورد استفاده در اين تحقيق از RBS براي تعيين ضخامت و غلظت اتمي عناصر استفاده شد. همچنين FTIR و UV-VIS-IR براي بررسي ساختار و شفافيت نمونه مورد استفاده قرار گرفت.
كشور
ايران
لينک به اين مدرک