شماره ركورد كنفرانس :
4354
عنوان مقاله :
تاثير دماي زير لايه در شبيه سازي رشد نانو ساختارها با روش رونشست مايل
پديدآورندگان :
دادي گيو زهره dadi@birjandut.ac.ir گروه علوم پايه دانشگاه صنعتي بيرجند، بيرجند
كليدواژه :
:مدل منطقه اي ساختار , دما , سايه اندازي , پخش سطحي.
عنوان كنفرانس :
ششمين همايش ملي فناوري نانو از تئوري تا كاربرد
چكيده فارسي :
در اين مقاله مرحله هسته بندي و رشد حجمي نانو ساختار لايه نشاني شده با استفاده از روش زاويه مايل شبيه سازي شده است. در مرحله هسته بندي و رشد حجمي اثر تغييرات يكي از مهمترين پارامترهاي رشد يعني دماي زيرلايه براي نانو ساختارها بررسي شده است. در دماهاي پايين به دليل وجود پديده پخش سطحي و تحرك پذيري ذرات، رشد ذرات بصورت ساختارهاي ستوني باريك و جدا از هم ديده مي شوند.
