شماره ركورد كنفرانس :
4390
عنوان مقاله :
شبيه سازي مونت كارلوي فرآيند لايه نشاني با ليزر پالسي و بررسي تغيير فاصله هدف تا زيرلايه بر مشخصات لايه ها
پديدآورندگان :
رشيديان وزيري محمدرضا RASHIDIAN@GMAIL.COM پژوهشكده ليزر و اپتيك، پژوهشگاه علوم و فنون هسته اي، تهران، ايران , مصطفوي حسيني افضل RASHIDIAN@GMAIL.COM گروه فيزيك، دانشگاه پيام نور، مركز پرند , هاشمي زاده عقدا، علي RASHIDIAN@GMAIL.COM گروه فيزيك، دانشگاه پيام نور، مركز پرند , عليمراديان نرگس RASHIDIAN@GMAIL.COM گروه فيزيك، دانشگاه پيام نور، مركز پرند
كليدواژه :
شبيه سازي , مونت كارلو , لايه نشاني
عنوان كنفرانس :
هشتمين همايش ملي فيزيك دانشگاه پيام نور
چكيده فارسي :
در اين مقاله، فرآيند لايه نشاني با ليزر پالسي و در حضور گاز پس زمينه به روش مونت كارلو شبيه سازي شده است. به طور خاص رشد فلز آلومينيوم در محيط گاز زنون پس زمينه و در فشار 50 ميلي تور شبيه سازي شده است. فواصل هدف- زيرلايه برابر با 10، 15، 20، 25 و 30 ميلي متر در شبيه سازي ها مورد استفاده قرار گرفته اند. اطلاعات مكاني و انرژي توده يون هاي پلاسمايي شكل گرفته در اين روش و نيز اطلاعات مشابه براي يون هاي كندوپاش شده از سطح لايه درحال رشد جمع آوري شده اند. توزيع ضخامتي لايه ها با استفاده از اطلاعات يون هاي عبوري و كندوپاش شده از سطح لايه محاسبه شده است. نتايج نشاندهنده احتمال شكل گيري حفره در مركز لايه هاي درحال رشد به اين روش و تشديد آن با كاهش فاصله هدف- زيرلايه است. نتايج شبيه سازي بيانگر نقش مؤثر يون هاي كندوپاش شده از سطح لايه در شكل گيري اين نوع حفره ها است.
