شماره ركورد كنفرانس :
4408
عنوان مقاله :
بررسي اثر دما و آهنگ لايه‌نشاني بر خواص فيزيكي فيلم نازك نانومتري ITO
پديدآورندگان :
مشبكي آرزو دانشگاه صنعتي شيراز , كديور عرفان دانشگاه صنعتي شيراز , فيروزي فر علي رضا دانشگاه صنعتي شيراز
كليدواژه :
اكسيد قلع و اينيديوم(ITO) , زبري سطح , طيف عبوري , لايه نشاني , مقاومت الكتريكي
عنوان كنفرانس :
بيست و جهارمين كنفرانس ملي اپتيك و فوتونيك ايران و دهمين كنفرانس ملي مهندسي و فناوري فوتونيك ايران
چكيده فارسي :
از مباحث با اهميت در طراحي و ساخت قطعات نيمرساناي آلي، ساخت زيرلايه با ويژگي هاي اپتيكي و فيزيكي مناسب است. در اين مطالعه تأثير دماهاي مختلف حين لايه نشاني و همچنين تغيير در آهنگ لايه نشاني بر زبري سطح و مقاومت الكتريكي لايه هاي نازك رساناي شفاف كه بر زيرلايه اي از جنس BK7 لايه نشاني شده است، مورد بررسي قرار گرفت. بدين منظور لايه نازك نانومتري رساناي شفاف اكسيد اينيديوم آلاييده شده با قلع (ITO) روي زيرلايه به روش كندوپاش DC در دما و آهنگ هاي لايه نشاني مختلف، پوشش داده شده است. تأثير گرمادهي در دو محيط خلأ و هوا پس از لايه نشاني بررسي شد. طيف عبوري در ناحيه مرئي بوسيله دستگاه طيف سنج دو پرتويي و مقاومت الكتريكي سطحي پوشش توسط دستگاه پروپ چهارسر اندازه گيري شده است. كيفيت و زبري سطح قطعه توسط ميكروسكوپ AFM بررسي شد. نتايج حاصل از آناليزها نشان داد كه كاهش آهنگ لايه نشاني، تأثير بسزايي در كاهش زبري سطح خطي فيلم و مقاومت الكتريكي نمونه ها دارد.
