سنسورهاي فشار خازني MEMS : مروري بر توسعه اخير و آينده ي آن

اخيراً، سنسور(حسگر) فشار خازني MEMS به دليل حساسيت بالا، مصرف برق كم، عدم تأثيرپذيري از دما، سازگاري مدار مجتمع و غيره، مزيت بيشتري را نسبت به سنسورفشار پيزورزيستيوميكروماشيني بدست آورده است. كاربرد سنسورفشار خازني در حال گسترش است، از اين رو، بازبيني مسير توسعه فني و آينده سنسورفشار خازني ميكروماشيني ضروري است. در اين مقاله بر مرور انواع گوناگون سنسورفشار خازني، مواد MEMS به كار رفته در ساخت آن، روش هايي كه در ريزساخت سيليكون و ديافراگم مواد پليمري پذيرفته شده اند، فناوري هاي بسته بندي و اتصال تأكيد مي شود. نتيجه انتخابي درباره حساسيت خازني و اثر دما بر حساسيت خازني نيز نشان داده مي شود. در نهايت، درباره ساخت سنسورهوشمند بحث مي شود. سنسورفشار خازني MEMS ، مروري بر سنسورفشار، CDPS، ساخت ممز(MEMS)، مواد MEMS، سنسورفشار، MEMS ( دستگاه ميكرو الكترومكانيكي) از موارد مورد بحث ما در اين مقاله مي باشند.