ريخت شناسي لايه نازك طلا رشد داده شده بوسيله سيستم كند و پاش مغناطيسي در شرايط دمايي مختلف

Morphology of Thin films of Gold Deposited by Magnetron Sputtering System in Different Temperatures

در اين مقاله، لايه نازك طلا به ضخامت 90 نانومتر در دماهاي مختلف، بر روي زيرلايه شيشه اي رشد داده شده است. براي انجام لايه نشاني از دستگاه كند و پاش مغناطيسي استفاده شده است. لايه هاي بدست آمده، به كمك ميكروسكوپ روبشي آناليز شده اند و توپوگرافي سطح از جمله پارامترهاي زبري آن، مورد بررسي قرار گرفته است. در پايان نشان داده شده است كه با افزايش دما پارامترهاي كيفي به مانند زبري سطح و دانسيته لايه بهبود يافته است .

In this paper, thin film of gold with 90 nm thickness was deposited on glass substrates in different temperatures. Magnetron sputtering machine was used for coatings. The obtained layers was analyzed by scanning probe microscopy and surface topography as well as roughness parameters have been investigated. It was shown that quality parameters of the layers such as surface roughness and density of the layers was improved by increasing thickness