تاثير دماي لايه نشاني بر خواص ساختاري و حسگري گاز در لايه هاي نانو ساختار SnO2 خالص تهيه شده به روش اسپري پايروليزيز

The effect of growth temperature on structural and gas sensing characterization of undoped SnO2 thin films prepared by spray pyrolysis

لايه هاي نازك نانو متري اكسيد قلع خالص، تهيه شده در سه دماي لايه نشاني 320، 420 و C 520 به روش اسپري پايروليزيز، براي حسگري گازهاي اكسيژن و دي اكسيد كربن مورد استفاده قرار گرفتند. در تحليل خصوصيات فيزيكي اين لايه ها از طيف پراش پرتو ايكس (XRD) و تصاوير ميكروسكوپ الكتروني روبشي (SEM) استفاده شد. اندازه گيري ها نشانگر آن است كه نمونه هاي رشد يافته آمورف و بسبلوري از دانه هايي در حدود 60-120 نانومتر برخوردارند. همچنين دريافتيم نمونه با دماي رشد 420 درجه سانتيگراد، با كوچكترين ابعاد دانه بندي (در حدود 60 نانو متر)، از بالاترين حساسيت گازي بهره مند است.

For gas (Oxygen and Carbon dioxide) sensing purpose, undoped tin oxide thin nanometer films were prepared by spray pyrolysis method at three different substrate temperatures of 320, 420 and 520 oC. To find the physical properties of these samples we have used the X-ray diffraction (XRD) and SEM images. Measurements show that the amorphous and crystalline samples contain grain sizes between 60-120 nm. Also we found that the sample grown at 420 oC, with lowest grain size (~60 nm), has the highest gas sensitivity