بررسي بيناب تابشي پلاسماي ايجاد شده با ليزر از فلز قلع و اكسيدهاي آن

Investigation on Radiation Spectrum from Laser Produced Sn and SnO2 Plasmas

در اين مقاله به بررسي پلاسماي ايجاد شده از قلع و اكسيد هاي آن توسط ليزر پالسي نئوديميم يگ مي پردازيم . با ثبت بيناب تابشي پلاسماي مذكور، اثرات انرژي پالس ليزر، اندازه لكه ي ليزر ، چگالي قلع و اكسيد هاي آن مورد بررسي قرار مي گيرد . با استفاده از يك توان سنج كوچك در ناحيه EUV ، وابستگي شدت تابشي به زاويه ثبت بيناب نسبت به زاويه فرود ليزر بررسي مي شود . گستره ي طيفي مورد علاقه از 6 نانومتر تا 22 نانو متر مي باشد كه در ميكرو حكاكي مدار هاي مجتمع قابليت كاربرد را دارد

Properties of radiation spectrum emission from laser-produced Sn and SnO2 plasmas were investigated. The effects of laser energy pulse, laser beam spot size, tin and tin oxides density were considered on the radiation emission spectrum. In this paper angular distribution measurements of the spectrum were carried out using a monochromatic EUV calorimeter. The spectrum range 6 nm to 22 nm were investigated regarding EUV lithography for the next integrated circuits.