شماره ركورد كنفرانس :
3233
عنوان مقاله :
بررسي تاثير ماسكهاي ميكروني در ايجاد ساختارهاي سطحي روي مواد با ليزر
عنوان به زبان ديگر :
Contribution of Micron Sized Contact Masks in Laser Induced Surface Structuring of Materials
پديدآورندگان :
نسترن منصور دانشگاه شهيد بهشتي - گروه فيزيك , كريم زاده سورشجاني روح الله دانشگاه شهيد بهشتي - گروه فيزيك
كليدواژه :
ماسكهاي ميكروني , ساختارهاي سطحي , ليزر
عنوان كنفرانس :
كنفرانس فيزيك ايران
چكيده فارسي :
در اين كار نتايج عددي پراش ماسكهاي ميكروني براي ايجاد ساختارهاي سطحي روي مواد به وسيله تابش ليزرهاي تپي مورد بررسي قرار مي گيرد . براي پراش نور ليزر از فرمول ريلي - سامرفيلد
(Rayleigh-Sommerfeld) براي كندگي مواد از مدل آرينيوس (Arrhenius) استفاده شده است و نتايج ساختارهاي ايجاد شده در سيليكون با ماسكهايي با ابعا د 10× 10 μm 2 و 20× 20 μm 2 و 30×30 μm 2 و 50× 50 μm2 ارائه خواهد شد .
چكيده لاتين :
In this work,we present a numerical analysis of near field diffraction effect of micron sized contact masks in formation of material surface structuring under pulsed laser irradiation . The analysis includes the Rayleigh_ Sommerfeld diffraction formula with Arrhenius type ablation model for the materials. The results have been presented in silicon for contact mask sizes of 10 *10 μm2, 20 *20 μm2 , 30 *30 μm2, and 50 *50 μm2