شماره ركورد كنفرانس :
2304
عنوان مقاله :
خواص نانو ساختاري لايه هاي نازك آلومينيوم انباشتي بر روي كوارتز : بررسي اثر پلاسماي نيتروژن و بازپخت حرارتي
پديدآورندگان :
جهانگيري سارا نويسنده , حاج اكبري فاطمه نويسنده , هژبري عليرضا نويسنده دانشگاه آزاد اسلامي كرج
كليدواژه :
لايه هاي نازك آلومينيوم , كندوپاش مغناطيسي DC , پلاسماي نيترون , بازپخت حرارتي , خواص ساختاري
عنوان كنفرانس :
اولين همايش ملي نانوتكنولوژي مزايا و كاربردها
شماره مدرك كنفرانس :
4236977