ساخت لايه نازك ابررساناي دماي بالاي پايه 123 (YBCO) به روش افشانه داغ

Deposition of YBCO-123 High Temperature Superconductor Thin Film by Spray Pyrolysis Method

لايه هاي نازك YBaz C1307 به روش افشانه مي داغ بر روي زيرلايه تك كريستال SrTi03 در دماي بالا ساخته شده اند. لايه نشاني توسط دستگاه ايربراش در دماهاي زيرلايه 850، 890، 900 و 920°C انجام گرفت. اثر دماي ساخت لايه، شرايط و زمان اكسيژن دهي بر روي دماي گذار و پهناي گذار نمونه ها مورد مطالعه قرار گرفت. نهايتا لايه نازك ساخته شده در دماي 920°C كه به مدت 2 ساعت در دماي 525°C تحت شار اكسيژن قرار گرفته بود بهترين نتيجه را داشت به طوري كه گذار فاز در اين نمونه در دماي 92 كلوين آغاز و داراي پهناي گذار 5 / 4 درجه اي بود و رفتار آن نيز در فاز هنجار فلز گونه بود. به منظور بررسي فاز و جهت گيري لايه آناليز پراش پرتو ايكس، بر روي بهترين نمونه انجام گرفت و مشاهده شد كه ساختار در جهت محور و رشد كرده است و ساختار ريز لايه نيز، با تصوير برداري SEM بررسي گرديد.

Preparation of γBa2Cu3O7 thin films were performed on SrTiO3 single crystal substrate by using high temperature spray pyrolysis method. Deposition was performed by airbrush at substrate temperatures of 850, 890, 900 and 920℃. The effect of deposition temperature, conditions and duration of oxygenation on critical temperature and transition width were studied. Finally, the thin film which was deposited at 920℃, and oxygenated for 2 hours at 525℃, had the best result; the phase transition at 92K and transition width of 4.5 degrees and metal like behavior at normal phase.To study phase and orientation of the film, XRD analysis was performed on the best sample. The analysis showed the structure is highly oriented in c axis direction and the surface structure of the film was studied by SEM analysis.