بهبود خواص مكانيكي پوشش نابازتابنده پهن باند فروسرخ بر بستره سولفيدروي با لاي هنشاني يك لايه نازك كربن سخت

Improvement of mechanical properties of multi-layer infrared broadband anti-reflection coating on zinc sulfide substrate by deposition of a hard carbon layer

اين پژوهش به طراحي، ساخت و سخت سازي پوشش نابازتابنده ي چهارلايه (Ge/ZnS/Ge/ZnS) پهن باند در ناحيه طول موجي 12- 8 ميكرومتر بر بستره سولفيد روي مي پردازد. طراحي نرم افزاري با استفاده از مواد انتخابي انجام شد. لايه ها به روش رسوب فيزيكي بخار در خلاء لايه نشاني شدند. با كمك طيف سنجي مادون قرمز (FTIR)، بيشينه عبور حدود 99٫4 درصد به دست آمد. به منظور سخت سازي پوشش، يك لايه محافظ كرين سخت بر پوشش نهائي لايه نشاني شد. اندازه گيري سختي نشان داد كه لايه كربن سختي را از 5969 به حدود 7454 مگاپاسكال افزايش مي دهد.

This study aimed to design, fabrication and study of optical and mechanical properties of four-layer broadband antireflected coating (Ge/ZnS/Ge/ZnS) on zinc sulfide substrate, in the range from 8 to 12 μm. After selecting the materials, software design was performed by Macleod. The layers fabricated using physical vapor deposition (PVD) method in vacuum. By using FTIR, the maximum optical transmittance was found to be about 99.4%. In order to enhance the hardness of coating, a protective layer of hard carbon (Diamond - like carbon) was deposited on the final coating. It was found that the carbon layer increases the hardness from 5969 to 7454 MPa.