سنتز تركيب نيتريد تيتانيوم آلومينيوم (Ti0.95Al0.5N) به روش سايش ليزري

Synthesis of thin layers of titanium aluminum nitride (Ti0.95Al0.5N) by laser ablation method

در اين تحقيق تركيب نيتريد آلومينيوم تيتانيوم (Ti0.95Al0.5N) تحت فرآيند سايش ليزري در يك راكتور تحقيقاتي ساخته شد. براي اين منظور پرتوهاي يك ليزر گازي CO2 با طول موج 1064 نانومتر در محيط گاز نيتروژن تحت فشار 1/5 بار بر روي سطح يك قرص تشكيل شده از پودرهاي تيتانيوم و آلومينيوم به نسبت مولي 95 به 5) درون راكتور تابانده شد. نتايج حاصل از الگوهاي پراش اشعه ايكس (XRD) تشكيل لايه نازك Ti0.95Al0.5N تاييد نمود. همچنين تصاوير گرفته شده توسط ميكروسكپ تونلي روبشي (STM) از نمونه ها پيوستگي و كيفيت مناسب سطح نمونه ها را مورد تاييد قرار دادند.

In this research titanium aluminum nitride compound (Ti0.95Al0.5N) were fabricated by laser ablation procedure in a research reactor. For this purpose the beam of CO2 gas laser with wavelength of 1064 nm in ambient of nitrogen gas with pressure of 1.5 bar were irradiated on surface of a pill which composed from titanium and aluminum (with molar ratio of 95 to5). The results of X-ray patterns (XRD) of samples showed the formation of tin layer of Ti0.95Al0.5N. The scanning tunnel microscope (STM) images of samples approved the continuity and quality of samples surfaces.