مشخصه يابي اپتيكي فيلم نازك دي اكسيد واناديم با استفاده از طيف بازتاب

Determination of the optical constants for Vanadium dioxide thin film from reflectance spectra

تعيين پارامترهاي اپتيكي فيلم هاي نازك شامل ضريب شكست و ضريب خاموشي با استفاده از داده هاي اندازه گيري شده يك مسئله غير خطي معكوس است. در اين تحقيق ثابتهاي اپتيكي و ضخامت فيلم نازك با استفاده از مدل هاي اپتيكي مختلفي از جمله درود لورنتز، درود -تاوك لورنتز و درود- فروهي بلومر تقريب زده شده اند و نتايج آنها با يكديگر مقايسه شده است. بهترين پارامترهاي برازشي حاصل از شبيه سازي طيف بازتاب به وسيله الگوريتم لونبرگ - ماركوارت براي هر مدل تعيين شد. نتايج برازش نشان ميدهد كه مدل درود- تاوك-لورنتز داراي بهترين تطابق با داده هاي تجربي مي باشد.

Determination of optical parameters of thin films including refractive index and extinction coefficient using measured data is a typical inverse non-linear problem. In this work, optical constants and the thickness of thin film were estimated by different optical models such as Lorentz -Drude, Tuac–Lorentz-Drude and Forouhi- Bloomer-Drude models and their results were compared to each other. The best fitting parameters for simulating of reflection spectra have been determined by Levenberg-Marquardt optimization method for every model. The fitting results revealed that Tuac–Lorentz-Drude model shows better agreement with reference data.