بهينه سازي خواص الكتريكي و اپتيكي و ساختار اكسيد روي به عنوان لايه نازك اكسيذهاي رساناي شفاف

Optimization of electrical and optical properties of ZnO as a transparent conductive oxide in thin film structure

در اين مقاله خواص اكسيد رساناي شفاف مورد بررسي قرار داده مي شود. TCO بكار برده در اين پروژه اكسيد روي با آلايندگي آلومينيوم مي باشد كه به روش تبخير فيزيكي، در برابر جريان مختلف گاز اكسيژن لايه نشاني شده است. جذب و عبور اپتيكي لايه ها، بوسيله دستگاه اسپكتروفتومتر lambda 950 ) UV - Vis ) اندازه گيري شده و مقدار گاف نواري محاسبه شده است. و چگالي و جابجايي بار بوسيله اندازه گيري هال انجام شد. نتايج بدست آمده از آزمايشات، نشان مي دهد كه افزايش جريان اكسيژن در ZnO : A1 باعث كاهش خواص الكتريكي و اپتيكي لايه مي گردد.

In this paper, electrical and optical properties of transparent-conducting-oxide (TCO) using common oxides are investigated. Aluminum-doped Zinc oxide (ZnO:Al) which is deposited at different oxygen flow rates using physical vapor deposition (PVD) method, is chosen as TCO . Total transmittance and absorption coefficient are measured using UV−Vis spectrophotometer (Lambda 950) band gap value is calculated in turn. Also, the electrical properties have been measured with Hall measurement. Experimental results show that increasing oxygen flow leads to decreasing the electrical and optical properties of ZnO:Al films.