بررسي گسيل ميداني نانولوله هاي كربني با آند غشاي نازك و كاربرد آن در ساخت شتاب سنج با حساسيت بالا

Investigating the carbon nanotubes field emission with a thin membrane anode and its application in the fabrication of high sensitive accelerometer

با استفاده از روش لايه نشاني بخار شيميايي به كمك پلاسما نانو لوله هاي كربني عمودي توليد كرديم. جريان گسيلي ناشي از اين نانو لوله ها را در محيط خلاء و در فشار اتمسفر اندازه گيري كرديم، و سپس از اين نانو لوله ها به عنوان الكترود كاتد در ساخت شتاب سنج استفاده و تأثير نوسانات كوچك بر گسيل ميداني را در فشار اتمسفر بررسي نموديم. مشاهده شد كه شكل جريان گسيل ميداني نانو لوله ها در اين ساختار از نوسانات حتي كوچك محيط پيروي مي كند و مي توان از اين خاصيت براي ساختن شتاب سنج هاي حساس استفاده نمود.

We have produced vertical carbon nanotubes with PECVD method and measured field emission current from them in both vacuum and under atmospheric pressure. They were then used as a cathode electrode in the fabrication of an accelerometer, in which it is found that the emission current, in atmospheric pressure, is very sensitive to small environmental vibrations, and hence, the fabricated structure acts as a high sensitive accelerometer.