طراحي و ساخت پوشش لايه نازك نابازتابنده ي دوگانه بر بستره ي Znse

Design and fabrication of dual band antireflection thin film coating

در اين پژوهش، طراحي و ساخت مجموعه ي لايه نازك نابازتابنده ي دوگانه براي دو بازه ي طول موجي 5-3 و ,12 - 8 ميكرومتر، گزارش شده است. اين مجموعه ي 6 لايه اي، روي بستره ي Znse طراحي و به كمك تفنگ الكتروني ساخته و با بهره گيري از ضخامت سنج كريستالي در محفظه اي با خلا پايه ي 10×9 ميلي بار لايه نشاني شده است. ويژگي هاي ممتاز اين مجموعه ي چندلايه اي، پايداري محيطي، استحكام مكانيكي و قابليت تميز كاري آن است. نتايج حاصل از طيف سنجي نشان مي دهد كه عبور متوسط اين پوشش چند لايه اي در بازه هاي 5-3 و 12 - 8 ميكرومتر، 97٫5 در صدد است و آزمون هاي چسبندگي و محيطي را به خوبي گذرانده است.

In this research we report the design and fabrication of a dual-band antireflection thin film for 3-5 and 8-12 micron. This 6 layer thin film was deposited on ZnSe substrate at 9*10 6 mbar base pressure using electron evaporation method and a quartz crystal was used for controlling thickness. Advantages of this thin film coating are environment durability, mechanical hardness and cleanig ability. Spectrophotometery results show that the transmittance of this design in 3-5 and 8-12 micron range is 97.5% . Keywords: multilayer, dual-band antireflection coating, physical vapour deposition