عنوان مقاله: بررسي و بهينه سازي لايه هاي نازك نيتريد سيليكون به عنوان پوشش ضدبازتاب سلولهاي خورشيدي مولتي كريستال سيليكون با شيوه كندوپاش RF

لايه هاي نازك نيتريد سيليكون بر روي زيرلايههاي مولتي كريستال سيليكون با استفاده از سيستم كندوپاش RF لايه نشاني شدهاند . لايه نشاني در محيط گاز آرگن و نيتروژن انجام شده و با تغيير توان لايه نشاني سعي شده است پوشش ضدبازتاب مناسبي براي سلولهاي خورشيدي مبتني بر مولتي كريستال سيليكون حاصل گردد . با تغيير توان لايه نشاني نسبت نيتروژن و سيليكون موجود در لايه تغيير كرده و لايههايي با خواص نوري متفاوت بدست ميآيد . نسبت سيليكون به نيتروژن در تركيب پوششهاي ضدبازتاب نيتريد سيليكون بهينه شده به كمك آناليز RBS بررسي شده است . از آناليزFTIR براي بررسي خواص نوري اين لايهها استفاده شده است . لايههاي نيتريد سيليكوني كه در محيط آرگن و با توان بين -150 100 وات لايه نشاني شدهاند، درصد عبور نوري بسيار بالايي ) %92 در حدود شفافيت شيشههاي نازك ) در طيف وسيع 300-1200 nm دارا مي - باشند . لايههاي ضدبازتاب نيتريد سيليكون مذكور بازتاب سطح سلولهاي مولتي كريستال سيليكون را از %12 به كمتر از %2 كاهش ميدهند