شماره ركورد كنفرانس :
3298
عنوان مقاله :
طراحي وساخت سخت افزار و تهيه نرم افزار كامپيوتري به منظور كنترل بر فرآيند الكتروانباشت فيلم هاي نازك چند لاي هاي نانو مقياس
پديدآورندگان :
نبيوني غلامرضا دانشگاه اراك - گروه فيزيك , عسگري مرضيه دانشگاه اراك - گروه فيزيك , عبدي حميد دانشگا ه علم و صنعت ايران اراك - دانشكده فني و مهندسي - گروه برق
كليدواژه :
الكتروانباشت , فيلم هاي نازك چند لاي هاي , نانو مقياس , نرم افزار كامپيوتري
عنوان كنفرانس :
كنفرانس فيزيك ايران ۱۳۸۵
چكيده فارسي :
روش الكتروانباشت يكي ازرو شهاي بسيار قوي وپركاربرد در زمينه ايجاد پوششها و لاي ههاي نازك روي الكترودهاي فلزي است. مشخصات اين فرآيند به
صورتي است كه به منظور توليد لاي ههايي با مشخصات مورد نظر، لازم است تا جريان و ولتاژ عبوري از الكتروليت به صورت دقيق انداز هگيري شده و قابليت تغيير
آن مطابق پروفايلي خاص در زما نهاي بسيار كوتاه فراهم باشد. در واقع دستگاه مورد نظر علاوه بر اينكه بايد داراي مشخصات پايداري در حال تهاي جريان و ولتاژ
استاتيك باشد بايد قادر باشد كه ديناميك مورد لزوم جهت داشتن لايه مناسب را از لحاظ كنترل بر ولتاژ و جريان به همراه داشته باشد.
در اين مقاله نحوه طراحي وساخت دستگاه مورد نظر براي فرآيند خاص الكتروانباشت آورده شده و اجزاء متناسب با فرآيند طراحي شد هاند. همچنين ساختار
ذكر شده و ايجاد يك پروفايل ولتاژي و جرياني توسط دستگاه با مقادير اعمالي به آن مقايسه شده است. PC نر مافزار و اعمال لاجي كهاي كنترل و نحوه ارتباط با
قابل ذكر است كه ساختار آورده شده يك ساختار عمومي براي كنترل بر فرآيندهاي مشابه شيميايي و فيزيكي را مهيا م ينمايد