تاثير دماي تفجوشي بر حساسيت حسگر گاز ZnO بر اثر بخار اتانول

Effects of sintering temperature on sensitivity of ZnO gas sensor due to Ethanol vapor

حسگر اكسيد روي كپه اي در دماهاي 950−860 C تفجوش گرديد . سپس تغييرات مقاومت و حساسيت حسگرهاي ساخته شده از اين نمونـه هـا در دماهاي مختلف و همچنين تغييرات حساسيت با تغييرات تراكم گاز اتانول در دماي ثابت بهينه بررسي شد . برنامه دمايي اعمال شده در تفجوشي و نحـوه ساخت حسگرها سبب ايجاد ساختار متخلخل و در نتيجه حساسيت قابل ملاحظه نمونه ها شده است . بيـشينه حـساسيت بدسـت آمـده بـراي 800 ppm اتانول 37 مي باشد كه با افزايش غلظت گاز سير صعودي دارد .

Bulk ZnO sensors are sintered at temperatures 860 to 950 °C. Then variations of resistance and sensitivity of the samples due to working temperature and also the sensitivity variations on different ppm Ethanol vapor at constant optimum temperature are measured. The sintering steps are the reason for wide variations in porosity and therefore on the sensitivity. The maximum obtained sensitivity for 800 ppm Ethanol is 37 which increases with increasing gas concentrations .