بهبود كيفيت اپتيكي چاه هاي كوانتومي چندگانه InGaNAs/GaAs تحت انجام عمليات حرارتي چند مرحله اي

Improvement of the optical quality of InGaNAs/GaAs quantum wells under multiple thermal annealing processes

اين گزارش بر اساس ادامه مطالعات قبلي و به دنبال گزارشات ارائه شده در دو مقاله قبل در زمينه تأثير عمليات حرارتي بـر نانوسـاختارهاي نيم رسـاناي InGaNAs ميباشد . در اينجا چاههاي كوانتومي چند گانه مورد بررسي قرار مي گيرند و خواص اپتيكي آنها با استفاده از طيف نمايي فتولومينسانس در شرايطي صورت مي گيـرد كه بر خلاف گزارشات قبلي عمليات حرارتي در حضور گاز نيتروژن صورت پذيرفته است در اين گزارش رفتار نوري چاههاي كوانتـومي چندگانـه در دمـاي پـايين براي نمونه هاي بدون عمليات حرارتي و نمونه هايي كه تحت عمليات حرارتي سريع (RTA ) در حضور گاز N2 و عمليات حرارتي راكتـور ( Reactor Annealing ) در حضور H2+AsH3 مورد بحث و بررسي قرار مي گيرد . تأثير عمليات حرارتي با حضور نيتروژن و بدون حضور نيتروژن در انرژي و شدت نـور گـسيلي و پهنـاي طيف گسيلي FWHM مورد بحث قرار گرفته است .

As the following of the earlier studies, the effect of thermal annealing on the structural changes of InGaNAs nano-structures have been investigated by means of photoluminescence (PL) spectroscopy. In this report, InGaNAs/GaAs multiple quantum wells (MQWs) have been thermal annealed under the nitrogen atmosphere contrary to the earlier project. Optical properties of MQW samples have been investigated at low temperature under the rapid thermal annealing (RTA) process at the presence of N2 gas as well as reactor annealing (RT) process at the presence of H2+AsH3 gas. Effect of thermal annealing with and without N2 on the PL spectra energy emission as well as the full width at half maximum (FWHM) have been investigated.