تاثير نانو لايه هاي فلزي انباشت شده به روش كندوپاش مغناطيسي بر بازتابش فروسرخ شيشه فلوت

The Effect of Metallic Nano-layers deposited by Magnetron Sputtering on IR Reflection of Float Glass

نانولايه هاي Ag و Cu با استفاده از روش كندوپاش مغناطيسي DC لايه نشاني شدند . اين لايه ها بر روي زيرلايه هاي شيشه اي فلوت (Float) داراي دماي متفاوت و با اعمال توان متغير به هدف لايه نشاني شدند . از لايه واسطه ITO براي بهبود چسبندگي لايه Ag استفاده شد . مشخصات لايه ها توسط روش اسپكتروفتومتري ، آزمون چسبندگي MIL13508 ، RBS ، PIXE و XRD مورد بررسي قرار گرفت . افزايش دماي زيرلايه و حضور لايه واسطه ITO ميزان چسبندگي لايه به زيرلايه را بهبود بخشيد . افزايش ضخامت لايه و درصد وزني Ag و كاهش ضخامت ITO باعث افزايش بازتابش IR شد ، اما افزايش توان هدف نقره تاثيري بر بازتابش در ناحيه IR نداشت

Ag and Cu nano layers were deposited by DC magnetron sputtering on float glass substrates with different substrate temperature and varying power. An ITO layer was used to enhance the adhesion of the main layers. The layers were characterized by spectrophotometery, adhesion test according to MIL13508 test, RBS, PIXE and XRD. It was observed that using an ITO layer and increasing the substrate temperature enhanced the adhesion of the layers to the substrate. IR reflection was enhanced with increase in Ag thickness and content and decrease in ITO thickness. Changing the power of the Ag target had no effect on the IR reflection.