تعيين ثابت هاي اپتيكي و ضخامت فيلم هاي نازك و خيلي نازك Al2 O3 با استفاده از روش بهينه سازي الگوريتم ژنتيك

Determination of optical constants and thickness of 2 3 Al O thin films and very thin films by Using Genetic Algorithm optimization method

روش هاي متعددي براي تعيين پارامترهاي اپتيكي لايه هاي نازك وجود دارد كه از جمله مي توان به روشهاي بهينه سازي اشاره نمود . با مقيد سـازي معـادلات اپتيكي و استفاده از روش بهينه سازي الگوريتم ژنتيك و همچنين با نامقيد سازي پارامتر هاي اپتيكي و اسـتفاده از الگـوريتم BBG ثابتهـاي اپتيكـي ( ضـريب خاموشـي وضريب شكست ) و ضخامت لايه هاي نازك Al2 O3 با ضخامت هاي مختلف، با استفاده از طيف تراگسيل آنها تعيين شد . با مقايسه نتايج به دست آمده از دو روش مختلف بهينه سازي با مقادير واقعي ، نشان داده شد كه اولا " با استفاده از روش بهينه سازي مي توان پارامتر هاي اپتيكي لايه نازك را محاسبه نمود . ثانيا " مقادير به دست آمده از روش بهينه سازي معادلات مقيد با روش الگوريتم ژنتيك بسيار به مقادير به دست آمده از روش حل معادلات نا مقيد به روش BBG نزديك مي .باشد

There are various methods for determination of optical parameters of thin films; one of these methods is optimization method. By using transmission spectra of 2 3 Al O thin films, optical constants (extinction coefficient and refractive index) and thickness of such films with different thicknesses were determined using genetic algorithm optimization method by constraining optical equation and using Barzilai and Borwein Gradient method (BBG) by unconstraining optical parameters. Comparison of two different methods of optimization with real values gave rise to these results. First: optical parameters of thin film could be calculated by optimization method. Second: calculated values by Genetic Algorithm were very close to those calculated by BBG Algorithm method.