شبيه سازي توزيع ضخامت در انباشت فيلم هاي نازك MgF2 و بررسي عوامل مؤثر بر يكنواختي آن

Simulation of thickness distribution in MgF2 thin film deposition and investigation of effective parameters on their uniformity

بازده انباشت فيلم هاي نازك MgF2 بر روي بستره هاي شيشه اي يك سيگمنت كروي به كمك شبيه سازي كامپيوتري مورد مطالعه قرار گرفته است . انباشت لايه كه به عنوان لايه هاي ضد بازتابي استفاده مي شود، با عواملي چون آهنگ تبخير، دماي بستره ها و شرايط هندسي حاكم بر سيستم لايه نشاني MgF2 هاي نازك بشدت تغيير مي كند . در اين كارابتدا فرآيند انباشت اين لايه ها شبيه سازي شده، توزيع ضخامت محاسبه شده با نتايج تجربي، مقايسه گرديده و نهايتاً عوامل مؤثر بر يكنواختي ضخامت به كمك اين شبيه سازي تعيين گرديده است

Abstract- Deposition efficiency of MgF2 thin films on glass surface, over a spherical sigment is studied using computer simulation method deposition of thin films are strongly affected by parameters such as deposition rate, substrate temperature and geometrical situations. In this work the process of deposition is simulated, the thickness distributions are calculated and compared with experimental results and effective parameters for uniform thickness distributions are determined.