شماره ركورد كنفرانس :
4746
عنوان مقاله :
مطالعه دماي الكتروني ميكروجت پلاسمايي سرد فشار اتمسفري RF با استفاده از پروب دوگانه لانگمير
پديدآورندگان :
حسن پور داود d.hassanpour@tabrizu.ac.ir دانشگاه تبريز دانشكده فيزيك ؛ , پسته اي سيد جلال d.hassanpour@tabrizu.ac.ir دانشگاه تبريز دانشكده فيزيك ؛
كليدواژه :
پروب لانگمير , ميكرو جت RF , پلاسماي سرد
عنوان كنفرانس :
ششمين كنفرانس ملي مهندسي و فيزيك پلاسما
چكيده فارسي :
در اين مقاله، نتايج استفاده از يك پروب لانگمير دوگانه در بررسي خروجي ميكروجت rf فشار اتمسفري گزارش شده است. دماي الكتروني اندازه گيري گرديده و روند تغييرات آن در ميكروجت بر حسب دبي گاز خوراك، توان rf اعمالي به ميكروجت، و موقعيت پروب در امتداد محور جت مورد بررسي قرار گرفته است. با توجه به اينكه در پلاسماي سرد فشار اتمسفري، برخوردهاي بين ذرات باردار و خنثي مي توانند نقش اساسي در دماي الكتروني داشته باشند لذا در تعيين دماي الكتروني تاثير برخوردها مورد توجه قرار گرفته است. دماي الكتروني با استفاده از مدلهاي نظري مختلف اندازه گيري شده و نشان داده شده است كه توافق خوبي بين نتايج وجود دارد.
