انباشت كادميوم سولفيد با استفاده از دستگاه پلاسماي كانوني

در اﯾﻦ ﺗﺤﻘﯿﻖ ﻻﯾﻪ ﻫﺎي ﻧﺎزك ﮐﺎدﻣﯿﻮم ﺳﻮﻟﻔﯿﺪ ﺑﺎ اﺳﺘﻔﺎده از دﺳﺘﮕﺎه ﭘﻼﺳﻤﺎي ﮐﺎﻧﻮﻧﯽ ﻻﯾﻪ ﻧﺸﺎﻧﯽ ﺷﺪه اﺳﺖ. دﺳﺘﮕﺎه ﭘﻼﺳﻤﺎي ﮐﺎﻧﻮﻧﯽ از ﻧﻮع ﻣﺪر و ﺑﺎ اﻧﺮژي 2 ﮐﯿﻠﻮ ژول و ﺧﺎزن 10 ﻣﯿﮑﺮوﻓﺎراد ﻣﯽ ﺑﺎﺷﺪ و ﻣﺤﻔﻈﻪ ﭘﻼﺳﻤﺎ ﺑﺎ ﮔﺎز آرﮔﻮن ﭘﺮﺷﺪه اﺳﺖ. ﻓﯿﻠﻢ ﻫﺎ ﺑﺎ ﺗﻌﺪاد ﺷﺎﺗﻬﺎي ﻣﺨﺘﻠﻒ (5 و15 و 25 ﺷﺎت ) و ﻓﺎﺻﻠﻪ ﻣﺘﻔﺎوت از ﺳﻄﺢ آﻧﺪ (5 و 7 و9 ﺳﺎﻧﺘﯽ ﻣﺘﺮ ) و ﺑﺎ زواﯾﺎي ﻣﺨﺘﻠﻒ (0و 30 درﺟﻪ ) ﻧﺴﺒﺖ ﺑﻪ ﻣﺤﻮر آﻧﺪ ﻻﯾﻪ ﻧﺸﺎﻧﯽ ﺷﺪه اﺳﺖ. ﭘﺲ از ﺗﻬﯿﻪ ﻓﯿﻠﻢ ﻫﺎي ﻧﺎزك، ﻧﻤﻮﻧﻪ ﻫﺎ ﺑﻪ ﻣﻨﻈﻮر ﺑﺮرﺳﯽ ﺧﺼﻮﺻﯿﺎت ﻻﯾﻪ، ﺑﻮﺳﯿﻠﻪ ﭘﺮاش ﭘﺮﺗﻮ اﯾﮑﺲ، ﻣﯿﮑﺮوﺳﮑﻮپ اﻟﮑﺘﺮوﻧﯽ روﺑﺸﯽ و اﺳﭙﮑﺘﺮوﻓﺘﻮﻣﺘﺮ ﻣﻮرد ﻣﻄﺎﻟﻌﻪ ﻗﺮار ﮔﺮﻓﺘﻨﺪ .ﻧﺘﺎﯾﺞ ﺑﺪﺳﺖ آﻣﺪه در اﯾﻦ ﺗﺤﻘﯿﻖ ﻧﺸﺎن ﻣﯽ دﻫﺪ ﮐﻪ ﺗﻌﺪاد ﺷﺎﺗﻬﺎ ، ﻓﺎﺻﻠﻪ ﺑﯿﻦ زﯾﺮ ﻻﯾﻪ و ﺳﻄﺢ آﻧﺪ و ﻫﻢ ﭼﻨﯿﻦ ﻣﻮﻗﻌﯿﺖ زاوﯾﻪ اي ﻧﺴﺒﺖ ﺑﻪ ﻣﺤﻮر آﻧﺪ ﻧﻘﺶ ﻣﻬﻤﯽ در ﺳﺎﺧﺘﺎر ﻻﯾﻪ ﻫﺎ دارﻧﺪ.