شماره ركورد كنفرانس
4746
عنوان مقاله
تاثير نوع، طول و ساختار سوزن پلاسمايي در مشخصات ميكروجت پلاسماي RF فشار اتمسفري
پديدآورندگان
حسن پور داود d.hassanpour@tabrizu.ac.ir دانشگاه تبريز دانشكده فيزيك ؛ , پسته اي سيد جلال d.hassanpour@tabrizu.ac.ir دانشگاه تبريز دانشكده فيزيك ؛
تعداد صفحه
5
كليدواژه
ميكرو جت پلاسما , طراحي و ساخت
سال انتشار
1397
عنوان كنفرانس
ششمين كنفرانس ملي مهندسي و فيزيك پلاسما
زبان مدرك
فارسي
چكيده فارسي
دستگاه ميكروجت پلاسماي فشار اتمسفري طراحي و ساخته شد. مشخصات ميكروجت خروجي نسبت به پارامترهاي هندسي نظير شكل و اندازة الكترودها، جنس آنها، و پارامترهاي فيزيكي نظير دبي گاز كاري و توان RF اعمالي مورد ارزيابي قرار گرفته و طراحي دستگاه بهينه سازي گرديده است. در اين ارزيابي ها، طول جت خروجي و پهناي آن به عنوان مشخصه هاي اصلي و تاثيرگذار جت، و قطبش دي الكتريك بين دو الكترود به عنوان معياري مهم در تعيين بيشينه توان اعمالي مورد توجه قرار گرفته و تحليل شده اند.
كشور
ايران
لينک به اين مدرک