شماره ركورد كنفرانس :
4746
عنوان مقاله :
بررسي تاثير پارامترهاي فشار، دما و توان در لايه نشاني تيتانيوم به روش كندوپاش مغناطيسي جريان مستقيم با كمك طراحي آزمايش فاكتوريل جزئي
پديدآورندگان :
فرهاديزاده عليرضا گروه مهندسي مواد و متالورژي، دانشكده مهندسي دانشگاه تهران , قاسمي سعيد پژوهشكده ليزر وپلاسما، دانشگاه شهيد بهشتي , آماده احمدعلي گروه مهندسي مواد و متالورژي دانشكده مهندسي دانشگاه تهران , قمي حميدرضا پژوهشكده ليزر وپلاسما دانشگاه شهيد بهشتي
كليدواژه :
فاكتوريل جزئي , كند و پاش مغناطيسي , جريان مستقيم
عنوان كنفرانس :
ششمين كنفرانس ملي مهندسي و فيزيك پلاسما
چكيده فارسي :
اين مقاله با كمك طراحي آزمايش فاكتوريل جزئي به بررسي همزمان پارامترهاي فشار محفظه، دماي زيرلايه و توان كاتد در روش كندوپاش مغناطيسي با جريان مستقيم بر ساختار پوشش و نرخ لايه‌نشاني پرداخته است. در اين مقاله نشان داده شد كه در بين پارامترهاي بيان شده، توان و فشار محفظه بيشترين تاثير را بر نرخ لايه‌نشاني دارند درحالي كه دما تاثير چنداني بر نرخ لايه‌نشاني ندارد. با كمك روش تفرق اشعه ايكس (XRD) خواص ساختاري پوشش‌هاي اعمال شده مورد بررسي قرار گرفت. نشان داده شد كه توان لايه‌نشاني بيشترين تاثير را دراندازه كريستاليت‌ها دارد. تاثير توان به صورت معكوس مشاهده شد. به عبارت ديگر، با افزايش توان، اندازه كريستاليت‌ها به طور محسوسي كوچكتر شدند.
