شماره ركورد كنفرانس
4815
عنوان مقاله
p471. ساخت و مشخصهيابي لايه نازك مسنيترايد به روش كندوپاش با استفاده از گاز نيتروژن بجاي گاز آرگون
عنوان به زبان ديگر
Fabrication and characterization of thin film of the copper nitride by sputtering method using nitrogen gas rather than argon gas
پديدآورندگان
دلاوري هروي علي delavari_a@physics.iust.ac.ir دانشگاه علم وصنعت ايران؛ , زماني ميميان محمدرضا r_zamani@iust.ac.ir دانشگاه علم وصنعت ايران؛
تعداد صفحه
4
كليدواژه
مسنيترايد , كندوپاش , خواص اپتيكي , اسپاترينگ , ولتاژ باياس , copper nitride , optical properties , sputtering , bias voltage , 81.15.cd
سال انتشار
1398
عنوان كنفرانس
سي و پنجمين كنفرانس ملي فيزيك ايران و بيست و سومين همايش دانشجويي فيزيك
زبان مدرك
فارسي
چكيده فارسي
در اين مقاله، لايه نازك مسنيترايد با دستگاه كندوپاش مغناطيسي بر روي زير لايه شيشه و بدون استفاده از گاز آرگون تحت تاثير ولتاژ باياسهاي مختلف لايه نشاني شد. ساختار و خواص اپتيكي نمونهها با استفاده از آناليزهاي XRD، AFM، SEMو UVمورد بررسي قرار گرفت . نتايج نشان ميدهد با اعمال ولتاژ باياس ساختار كريستاليتر، سطح لايه يكنواختتر و اندازهي ذرات كوچكترشده است، همچنين ضخامت لايه نيز كاهش يافته است. اطلاعات حاصل از آناليز UVزياد شدن گاف انرژي با اعمال ولتاژ باياس را نشان ميدهد.
كشور
ايران
لينک به اين مدرک