شماره ركورد كنفرانس :
4815
عنوان مقاله :
p471. ساخت و مشخصه‌يابي لايه نازك مس‌نيترايد به روش كندوپاش با استفاده از گاز نيتروژن بجاي گاز آرگون
عنوان به زبان ديگر :
Fabrication and characterization of thin film of the copper nitride by sputtering method using nitrogen gas rather than argon gas
پديدآورندگان :
دلاوري هروي علي delavari_a@physics.iust.ac.ir دانشگاه علم وصنعت ايران؛ , زماني ميميان محمدرضا r_zamani@iust.ac.ir دانشگاه علم وصنعت ايران؛
كليدواژه :
مس‌نيترايد , كندوپاش , خواص اپتيكي , اسپاترينگ , ولتاژ باياس , copper nitride , optical properties , sputtering , bias voltage , 81.15.cd
عنوان كنفرانس :
سي و پنجمين كنفرانس ملي فيزيك ايران و بيست و سومين همايش دانشجويي فيزيك
چكيده فارسي :
در اين مقاله، لايه نازك مس‌نيترايد با دستگاه كندوپاش مغناطيسي بر روي زير لايه شيشه و بدون استفاده از گاز آرگون تحت تاثير ولتاژ باياس‌هاي مختلف لايه نشاني شد. ساختار و خواص اپتيكي نمونه‌ها با استفاده از آناليزهاي XRD، AFM، SEMو UVمورد بررسي قرار گرفت . نتايج نشان مي‌دهد با اعمال ولتاژ باياس ساختار كريستالي‌تر، سطح لايه يكنواخت‌تر و اندازه‌ي ذرات كوچك‌ترشده است، همچنين ضخامت لايه نيز كاهش يافته است. اطلاعات حاصل از آناليز UVزياد شدن گاف انرژي با اعمال ولتاژ باياس را نشان مي‌دهد.
