p266. شبيه سازي روش حجم نيم بسته براي رشد بلورCdS در فرايند گرماي القايي

Simulation of semi-closed volume method for the growth of CdS in the induction heat process

لايه نشاني نيمرسانايCdS به روش تبخير حرارتي، به واسطه فراريت گوگرد از تركيب امكان پذير نيست لذا از روش حجم نيمه بسته استفاده مي-شود. در طراحي كوره، روش گرمادهي بصورت المنتي، گراديان دما شكل نمي‌گيرد، بنابراين كوره ترك بر مي‌دارد. براي حل اين مشكل گرمادهي به روش القا گزينه‌ي مناسبي به‌نظر مي‌رسد. در اين مقاله، ما تلاش كرده‌ايم اثر گرماي القايي بر پارامترهايي مانند جريان القا شده و ميدان‌هاي دما با استفاده از روش عناصر متناهي مطالعه كنيم. نتايج نشان مي‌دهد كه فرآيند گرماي القايي قادر به ايجاد گراديان دما در سرتاسر سيستم است.

The semiconductor deposition of CdS by thermal evaporation method due to outflow sulfur from the composition is not applicable; therefore use of semi-closed volume method as furnace could be suitable candidate. In designing the furnace; because heating element, as the source heat could not form temperature gradient, so the body of the furnace cracks. In order to solve this problem, induction heating is appropriate option. In this work, we have tried to study the effect of induction heating on the parameters such as induced currents, temperature fields using finite element method. The results show that induction heating process is able to make temperature gradient through the system.