شماره ركورد كنفرانس :
4815
عنوان مقاله :
p560. بررسي ضخامت نقره روي خواص اپتيكي و الكتريكي فيلم هاي چند لايه SnO2 / Ag / SnO2
عنوان به زبان ديگر :
Effect of Ag thickness on electrical and optical properties of SnO2 / Ag / SnO2 multilayers
پديدآورندگان :
شهيدي محمد مهدي mmahdishahidi@gmail.com دانشكده فيزيك، دانشگاه سمنان ، سمنان؛ , احساني محمد حسين mhe_ehsani@yahoo.com دانشكده فيزيك، دانشگاه سمنان ، سمنان؛ , قليپورديزجي حميد رضا hrgholipour@semnan.ac.ir دانشكده فيزيك، دانشگاه سمنان ، سمنان؛ , قاضي محمد ابراهيم mghazi@shahroodut.ac.ir دانشكده فيزيك، دانشگاه صنعتي شاهرود ، شاهرود؛
كليدواژه :
tree-layer films , Magnetron Sputtering , figure of merit , 81
عنوان كنفرانس :
سي و پنجمين كنفرانس ملي فيزيك ايران و بيست و سومين همايش دانشجويي فيزيك
چكيده فارسي :
ساختار سه لايه اي SnO2 / Ag / SnO2 روي بستره شيشه بوسيله دستگاه مگنترون اسپاترينگ تهيه گرديد. اثر ضخامت لايه Ag بر روي خواص الكتريكي و اپتيكي سه لايه اي تهيه شده، مورد بررسي قرار گرفت. چندين ابزار تحليلي مانند اسپكتروفوتومتر و مقاومت سنج 4 نقطه اي براي بررسي علل تغييرات خواص الكتريكي و اپتيكي مورد استفاده قرار گرفت. براي اين ساختار بهترين ضخامت لايه مياني نقره حدود 25 نانومتربه دست آمد كه در آن حداكثر معيار كيفيت Ω-1 16/0 با مقاومت صفحه اي 1/5 اهم بر مربع و ضريب عبور 8/82 در صد مي باشد.
چكيده لاتين :
SnO2 / Ag / SnO2 tree-layer films were prepared on glass by Magnetron Sputtering instrument. The effect of thickness of the Ag layer on the electrical and optical properties of three-layer films was investigated. Several analytical tools such as spectrophotometer and 4-point probe were used to study the causes of electrical and optical properties. For 25 nm Ag layer thickness, the maximum figure of merit was 0.16 Ω-1 with a sheet resistance of 5.1 ohm / square and 82.8% transmittance coefficient.
